正修科技大學電機工程系

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奈米光電實驗室

奈米光電實驗室

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    • 資料來源:電機工程系所
    • 日期:2014/04/30

    實驗室目標

    將光電材料的應用推展至奈米等級,藉由四槍濺鍍設備沉積多層膜與多成份之薄膜,結合感應耦合電漿蝕刻系統,發展奈米材料之沉積技術,開發奈米光電材料,應用於光電領域及能源轉換方面。

    研究方向

    ()材料開發
      多層介電膜與多成份介電薄膜;奈米能源材料;光學及機械機能薄膜製備
    ()製程技術開發
      多層之光電及機械機能薄膜;利用ICP-RIE的高能電漿製備奈米圖案
    教學課程
    配合大學部與研究所開設之課程:
    (1)真空技術、(2)薄膜工程與實務、(3)光電工程導論、(4)半導體元件與物理、(5)半導體製程、(6)固態電子學、(7)鍍膜技術、(8)光電材料、(9)電子陶瓷。
    主要設備
    主要設備有(1)四槍射頻磁控濺鍍系統、(2)感應耦合電漿蝕刻系統、(3)高溫加熱爐、(4)熱壁式化學氣相沉積系統、(5)電化學工作站、(6)陶瓷粉末成型設備。
    具體成果
    (1)行政院勞委會職訓局九十二至九十四學年度推動「大學及技專校院辦理就業
       (學)課程」-「光電通訊領域:光電元件及模組設計與製造工程師」學程。
    (2)國科會研究計畫之執行。
    (3)國內外期刊及研討會論文發表。
    (4)大學部實務專題製作。