正修科技大學電機工程系

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光電薄膜實驗室

光電薄膜實驗室簡介

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    • 資料來源:電機工程系所
    • 日期:2014/04/30

    實驗室簡介

    本實驗室主要以電子束蒸鍍系統 (Electron Beam Evaporation System)製程技術為主軸,以光電薄膜及元件製程之研究與應用為發展目標。規劃真空技術與電漿材料之實習,使學生對電漿放電、薄膜材料沉積之原理及真空設備、電漿系統之使用,能有深入的了解。

    研究方向:

    現階段研究方向分別有:(1)透明導電氧化物(TCO)薄膜特性研究、(2)電致色變薄膜之製備與特性研究及(3)薄膜太陽能電池吸收層之研究;以目前研究方向為基礎,未來之發展目標則有:(1)透明導電氧化物(TCO)薄膜之應用、(2)電致色變元件及節能系統之研究、(3)光學隔熱薄膜與元件應用及(4)薄膜太陽能電池元件之研究。

    教學課程:配合大學部與研究所開設之課程:(1)氣體放電學(2)薄膜工程與實務(3)光電工程導論(4)半導體元件與物理(5)半導體製程(6)固態電子學(7)鍍膜技術(8)光電材料(9)真空技術。

    儀器設備:主要設備有(1)離子槍輔助電子束蒸鍍系統、(2)化學清洗槽、(3)超音波洗淨器、(4)烘箱、(5)電子天平、(6)數位示波器、(7)高溫結晶爐、(8)四點探針量測系統。

    具體成果:

    (1)行政院勞工委員會職業訓練局九十二至九十四學年度推動「大學及技專校院辦
       理就業(學)課程」-「光電通訊領域:光電元件及模組設計與製造工程師」學
       程。
    (2)與「台灣石原產業有限公司」建立教學與實務參訪學習模式。
    (3)國科會研究計畫之執行。
    (4)國內外期刊及研討會論文發表。
    (5)大學部實務專題製作。